蘇州日井精密儀器有限公司

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產(chǎn)品說(shuō)明：

      一、技術(shù)參數(shù)

      行程范圍：X軸——————1200 mm Y軸——————2000 mm Z軸——————1000 mm

      結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式

      傳動(dòng)方式：柔性齒型同步帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承長(zhǎng)度

      測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國(guó)）開放式光柵尺，分辨率為0.5 μm

      機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)

      使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m 溫度變化 1℃/h

      空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

      空氣流量：100 L/min – 120 L/min

      整機(jī)尺寸：3.32m X 1.98 m X 3.5m (安裝尺寸：3 m X 2.15 m X3.55m)

      機(jī)臺(tái)厚度：420mm 整機(jī)重量：8500kg 機(jī)臺(tái)承重：2000kg

      控制及探針測(cè)量系統(tǒng)： 1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī) (日本) 2．控制系統(tǒng)：Renishaw （英國(guó)） UCCLITE 3．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制 +操縱盒 4．控制軟件：SEREIN DMIS V2.0（美國(guó)） 5．探測(cè)系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）MH20i （標(biāo)準(zhǔn)配置） 6．測(cè)量不確定度（E）：（4.5+L/300）μm

      二、機(jī)械特點(diǎn)

      1．整機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動(dòng)框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，確保了測(cè)量精度及穩(wěn)定性。

      2．三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測(cè)量過(guò)程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。

      3．三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，使運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損。

      4．長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用英國(guó) RENISHAW 的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性。

      5．控制系統(tǒng)采用英國(guó) RENISHAW 的 UCCLITE高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制。