2BV水環(huán)真空泵的真空漏率測量的辦法是以示漏物質(zhì)夜蓋被橙容器的整個可疑區(qū),另一側(cè)抽真空,或是在被檢容器的內(nèi)外兩側(cè)形成壓差(或示漏物質(zhì)的濃度差),在低壓(或低濃度)漏物質(zhì)的漏率和濃度變化:xinghuipump
1、加壓條件下容器漏率的測定
在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。
2、真空條件下容器漏率的測定
(1)利用接人真空容器的真空規(guī)、離子泵及殘氣分析質(zhì)譜計來測定容器的漏率。
(2)可以選用流盆測量、壓力測量、鹵素檢漏儀以及氮質(zhì)譜檢漏儀等方法來測全漏率。
3、密封件的無損檢漏
(1)盡量利用2BV水環(huán)真空泵的密封件上可用來指示密封器件內(nèi)部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規(guī)管和殘氣分析質(zhì)譜計等進(jìn)行檢漏。
(2)有些原來不是測量壓力的裝置,如:電子管、顯像管等,若改換饋電方式,將其電極接成電離規(guī)的方式,測全出管內(nèi)離子流的變化,便可知管內(nèi)壓力的變化率。大批量生產(chǎn)這類器件時,可以通過校準(zhǔn)的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。
(3)如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時,采用動態(tài)法或靜態(tài)法對漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測,就可測出漏孔來。通常這類密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時的壓力為高。因此,檢漏靈敏度高,費(fèi)用低。
(4)2BV水環(huán)真空泵的背壓法檢漏適用于成批生產(chǎn)小型密封件時的檢漏,可以使用鹵素檢漏儀,氮質(zhì)譜檢漏儀,放射性同位素等檢漏方法和儀器。
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