鐘罩Dome:會用在反應(yīng)器系統(tǒng)內(nèi),且電漿或是化學(xué)氣體有時會在此停留,故在鐘罩的材質(zhì)使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕,因此目前有許多半導(dǎo)體設(shè)備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質(zhì),鐘罩之外表也可以配合另外Coating 其他金屬材質(zhì)?;虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚怼?/p>
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