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(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團 (3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱 (4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

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