廣州譚美電子科技有限公司

Heatpulse 8108快速退火爐

原制造商：AG Associates               
設(shè)備類型：快速退火爐
AG Associates Heatpulse 8108系列快速退火系統(tǒng)具有成本低，適用面廣等優(yōu)點。是專門為半導體器件生產(chǎn)廠家快速退火工藝設(shè)計制造的退火系統(tǒng)，被廣泛應(yīng)用驗證。該系統(tǒng)采用自動傳片系統(tǒng)，(Video)適用于標準硅片、復合半導體材料和其他材料的晶片，晶片尺寸可從3英寸到8英寸。操作簡便，自動化程度高，已廣泛應(yīng)用在半導體制造產(chǎn)業(yè)。
優(yōu)越的工藝控制： 單片，閉環(huán)溫度控制； 快速升溫與降溫控制； 工藝重復性高； SLIP FREE 特殊晶片的自動載片系統(tǒng)和精確的溫度控制，SLIP RING可防止晶片結(jié)構(gòu)在高溫狀態(tài)下邊緣(大于1150℃) 產(chǎn)生滑移 4組加熱燈可分別控制，提高溫場均勻性。 工藝用途： 離子注入后快速退火； 歐姆接觸快速合金； 硅化物合金退火； 氧化物生長； 其它快速熱處理工藝。

同管式高溫爐的比較：
一般管式高溫爐只能設(shè)定一個工藝條件，即一個溫度；工藝周期長，使用不太靈活；須24小時加電恒溫，能耗較高，適用于生產(chǎn)。快速退火爐，可以設(shè)定多個工藝條件，即多種溫度；工藝時間短，使用非常靈活；能耗很低；同一臺設(shè)備既可用作生產(chǎn)，也可用作科研，且任何科研工藝條件不會對生產(chǎn)工藝造成影響。

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廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導體設(shè)備公司的產(chǎn)品，公司主要經(jīng)營高真空磁控濺射設(shè)備、量測設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、PECVD設(shè)備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設(shè)備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設(shè)備。
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經(jīng)營產(chǎn)品：

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