廣州譚美電子科技有限公司

MXP Multiplex ICP HR

制造商： Surface Tech Sys
型號： MXP Multiplex ICP HR
Wafer 尺寸：
Minimum 50 mm
Maximum 200 mm
Set Size 150 mm
工藝： Chlorine Etch
Loadlock ：是
Loadlock Pump ：Edwards E2M40
High Vacuum Pump： Pfeiffer MAG 2000
Roughing Pump ：Edwards IQMB250 & IQDP80
RF Generator ： ENI/ACG-3B and Advanced Energy RFG 3001
Number of Gas Inputs： Five Gas
Process Gases： BCl3， Cl2， O2， Ar， He
Chillers ：Huber/Unistat 140W
附件： ICP V2 - Balun coil
Mechanical Clamp
Helium Backside Cooling
Carousel in MkIV MPX - 2 x 150mm wafers
3KW Source
300/30W platen
Purge gas line
E-Rack Modules: HCL1 +HCU3 +HCU5+VAC3Y +2x AMC1 +HBC2
其他信息： Windows 2000
Current Power Requirements: 400V ， 50Hz， 40 Amp， 3 phase
Unit can be configured for: 208/460， 60 Hz， 3 Phase.
CE Marked YES
制造年份： 2003
 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司的產(chǎn)品，公司主要經(jīng)營高真空磁控濺射設(shè)備、量測設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、PECVD設(shè)備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設(shè)備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設(shè)備。

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經(jīng)營產(chǎn)品：

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零件銷售：

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