用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣,以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng),廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。目前工業(yè)中應用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。
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