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自動白光干涉儀 ·基本信息 品牌： SNU 型號： SIS 2000 操作方式： 自動 功能： 檢測、觀察、分析 精度 ： 1nm 其它型號： SIS 1200 ·產(chǎn)品介紹 白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計的微納米測量系統(tǒng),，為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂部成員，清華大學(xué)，臺灣大學(xué)，首爾大學(xué)友好合作伙伴。 ·產(chǎn)品特點 1、非接觸式測量：避免物件受損。 2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。 3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。 4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。 5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。 6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。 7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。 8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。 ·技術(shù)參數(shù) 　 機型 SIS 2000 工作臺 尺寸 350mm×350mm 傾斜度 ±3 ° 測量行程 X:200mm Y:200mm Z軸行程 100mm 運動方式 自動，馬達驅(qū)動 掃描速度 30μm/sec 垂直分辨率 0.1nm CCD 黑白CCD， 640×480 像素 物鏡安裝架 手動 5個位移的可定位夾具 鏡頭選配 鏡頭：5×、10×、20×、50×