微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品,該粒子計數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾,適用于≤20nm的粒子。PMSChem20化學(xué)式粒子計數(shù)器具有20nm的粒子靈敏度,是目前靈敏度最高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。
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