1.高精度:0.1um分辨率,
2.高重復(fù)精度:+/-0.5um 。
3.高運(yùn)動(dòng)速度:
4.高加速度:
5.速度波動(dòng)極?。核俣炔▌?dòng)控制在+/-0.04%之內(nèi)。
6.極穩(wěn)定的低速特性:在速度為10mm/s時(shí)的速度波動(dòng)為0.2%。
7.快速定位
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