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1.用于半導體工業(yè)真空泵油,得到世界著名真空泵制造商,如萊寶Leybold、愛德華Edwards。
2.尤其半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉淀過程特種氣體處理。
3.其他特種氣體行業(yè)真空系統(tǒng)泵浦中。
化學性能非常穩(wěn)定,耐強酸,包括極強的路易氏酸,耐強堿。與接觸的任何特種氣體如氟氣,強腐蝕性物質(zhì),強氧化劑,還原劑均不發(fā)生反應
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