采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測量,評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡,測量視場大小和精度也不同。視場的擴(kuò)展可通過釘合的方式來實(shí)現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤,使采集的單個測量點(diǎn)相互平行。ACM 600目前是唯一商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比,微透鏡掃描盤使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速,所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結(jié)果。它的另外的獨(dú)特之處在于采用了LED作為光源,避免了使測量頭發(fā)熱,因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤,可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測物件的設(shè)定和測量全過程可以通過一個獨(dú)立的監(jiān)視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制,并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評估程序。
儀器結(jié)構(gòu)緊湊,耐用,特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后,儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
主要用途:
粗糙和光滑表面的測量和顯示
亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測量
金相測量
非接觸式表面輪廓的計量
主要特點(diǎn)
0,1mm2到0,7mm2視場
采用釘合方式擴(kuò)大視場
配置物鏡切換盤
確定垂直分辨率來設(shè)定測量時間
橫向分辨率可達(dá)1祄,垂直分辨率最高可到5 nm
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)
全自動數(shù)據(jù)評估
實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計
主要優(yōu)點(diǎn):
高保真輪廓復(fù)現(xiàn),對物體三維結(jié)構(gòu)快速,非接觸式的定性和量化
測量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)
根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
無人干預(yù)全自動測量過程
將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
采用壓電驅(qū)動或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統(tǒng)
測量和評估軟件包括下列功能:
水平調(diào)整,圖像縮放, 輪廓線的提取,毛刺的剔除, 過濾,數(shù)學(xué)計算,F(xiàn)FT,ACF,2D/3D 粗糙度參數(shù),面積的測定,斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。
用戶特定要求的計算方法
技術(shù)數(shù)據(jù):
共焦顯微鏡頭
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器
光源: LED
壽命 h: > 50,000小時
采用步進(jìn)電機(jī)時的測量范圍mm:50mm
采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍μm: 100/150μm
最高垂直分辨率 nm: 5nm
最高橫向分辨率μm: 1μm
工作距離mm: 0.66mm
視場μm: 370 x 280μm
256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒
重量kg:約12kg
測量工作臺
X、Y、Z每軸位移mm: 50mm
最小步距μm : 1μm
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