產(chǎn)品說(shuō)明:
產(chǎn)品名稱:工具鍍專用鍍膜機(jī)
產(chǎn)品描述: 最新研制開(kāi)發(fā)的一種物理氣相沉積(PVD)真空鍍膜設(shè)備,可同時(shí)安裝兩至四種不同純金屬或合金靶材,進(jìn)行單層或多層(納米)膜的鍍制。適用于各類工具鍍鍍膜要求,如切削工具,鉆頭、沖摸具等。通過(guò)對(duì)工件表面在物理、化學(xué)、機(jī)械、顏色等方面的改質(zhì),達(dá)到耐磨、超硬、自潤(rùn)滑的效果。
產(chǎn)品詳情說(shuō)明:
主要特點(diǎn):
1、采用反應(yīng)氣體等離子源輔助沉積,對(duì)工件進(jìn)行預(yù)清洗及鍍膜時(shí)的輔助沉積;
2、采用大功率的脈沖偏壓電源,使工件與膜層獲得更好的結(jié)合力;
3、采用多套孿生靶及弧,可同時(shí)安裝2—4種不同純金屬或合金靶材,獲得復(fù)合納米鍍層;
4、工件架采用公、自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),承重能力強(qiáng)及耐高溫,并可移動(dòng)出腔體,方便裝卸比較重的模具。
5、觸摸屏+PLC,可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制,自動(dòng)/手動(dòng)隨時(shí)切換;
基本配置:
1、真空室立式單開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),304不銹鋼制造,真空室內(nèi)直徑自Φ1000mm-Φ1300mm;
2、真空系統(tǒng)由旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵或分子泵構(gòu)成;
3、鍍膜系統(tǒng)采用1-2臺(tái)中頻磁控濺射電源,配有1-2對(duì)非平衡磁控靶,并配有6-14個(gè)熱陰極電??;
4、大功率脈沖偏壓電源;
5、充氣系統(tǒng)采用國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口氣體質(zhì)量流量計(jì)、氣體流量控制(顯示)儀;
6、電控系統(tǒng)設(shè)置電路過(guò)載、斷水、斷氣聲光報(bào)警裝置;
7、控制系統(tǒng)(觸摸屏+PLC),實(shí)時(shí)顯示詳細(xì)參數(shù),全自動(dòng)控制整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程,并自動(dòng)存儲(chǔ)工藝參數(shù)。
技術(shù)參數(shù):
總重量 2500kg~4000kg
名義功率 150KW~200KW
抽速(空載) 8×10-3Pa≤20min
極限真空(空載) ≤8×10-4Pa
壓升率(空載) 0.67Pa/小時(shí)
工件轉(zhuǎn)速 0~5r/min
烘烤溫度 室溫~500度
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