大晃開發(fā)的獨特形狀的螺桿(專利),它低速轉(zhuǎn)動連續(xù)排氣,真空度可達到10-1Pa,它可稱為是劃時代的干式真空泵。 單級結(jié)構(gòu)簡單,易于保養(yǎng)和維修,在排除凝聚性氣體,腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。
排気速度 : 1000~78000 L/min
到達真空度 : 10-1 Pa
口 徑 : Φ40~ Φ200 mm
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