三坐標測量儀的導(dǎo)軌是保證機器平穩(wěn),高精度運動的關(guān)鍵,目前主要采用
氣浮導(dǎo)軌及直線滾珠導(dǎo)軌兩種形式。
1. 氣浮導(dǎo)軌
    氣浮導(dǎo)軌的核心是氣浮軸承(空氣軸承),利用氣浮軸承小孔節(jié)流形
成氣腔內(nèi)的高壓,在導(dǎo)軌和氣浮軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄
膜。氣浮導(dǎo)軌具有無摩擦及無磨損的特性,由于勻差效應(yīng),運動的局部直
線度及角度擺動較小。精度較高的三次元定制一般采用氣浮導(dǎo)軌。
    氣浮軸承的性能有4個要求:即承載能力,承載剛性(氣浮間隙每變
化一微米承載能力的變化)、耗氣量、抗氣振能力。其他的要求還包括防
銹性能、安裝的工藝性,支承等的載荷設(shè)計亦不能忽略。對超高精度測量
機,氣浮間隙及氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要,超高精度測量機往往設(shè)置氣浮
軸承壓力檢查引出孔。
2. 直線滾珠導(dǎo)軌
      采用直線滾珠導(dǎo)軌的優(yōu)點是省去全套壓縮空氣設(shè)備及氣動控制組件
,成本較低,適于無氣源的環(huán)境。它剛性較好,承載能力強,比簡單的滾
珠軸承,受個別滾珠疵瑕的影響要小,有一定的勻差效應(yīng)。但由于鋼球及
導(dǎo)軌原因,該結(jié)構(gòu)的測量儀器精度稍低,摩擦力較大,因而控制性能亦與
氣浮導(dǎo)軌特性不同。它的安裝、調(diào)整找正對整機的性能的影響亦較大。
      導(dǎo)軌面不能劃傷,如果劃傷需專業(yè)人員來返廠維修,劃傷后如果繼
續(xù)使用會導(dǎo)致氣浮軸承與導(dǎo)軌面產(chǎn)生直接摩擦,損壞機器。更詳細請訪問
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