SM5822/SM5872壓阻式壓力傳感器
SM5822和SM5872系列為硅微結(jié)構(gòu)OEM壓力傳感器,結(jié)合了先進的片上信號處理技術(shù)及最先進的壓力傳感器加工技術(shù)生產(chǎn)的具有放大、充分校準、多階壓力修正和溫度補償貼片式SO-16封裝的高性能壓力傳感器。
采用CMOS數(shù)字信號處理器和用于存儲校準和補償數(shù)據(jù)的EEPROM存儲器。這有利于在工廠校準時把封裝壓力的影響也考慮在其中,也允許多級溫度和壓力補償,這比傳統(tǒng)做法能獲得更高精確度。
SM5822和SM5872系列壓力傳感器基于SMI高穩(wěn)定性安裝在陶瓷基板上的壓阻式壓力芯片。
特點 應(yīng)用
? 放大、校準和溫度補償高輸出跨度(0.5V至4.5V信號)
? 數(shù)字溫度和校準壓力可通過I2C接口
? 輸出電壓與輸入電壓成比例
? 貼片式SO-16封裝易于使用
? 多級壓力、溫度非線性修正(工廠編程)
? 表壓、差壓和絕壓高性能傳感器 ? 氣壓測量
? 醫(yī)療器械
? 氣動控制
? 氣體流量
? 呼吸器和通風設(shè)備
? 暖氣、通風及空調(diào)
性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫25℃,5V直流恒壓源供電的條件下測量而得,除非另外規(guī)定。
絕壓、表壓和正差壓 差壓
最小值 典型值 最大值 最小值 典型值 最大值 單位
零點輸出(絕壓和表壓) 0.42 0.50 0.58 V
零點輸出(差壓) 2.42 2.50 2.58 V
滿量程輸出 3.92 4.00 4.08 1.96 2.00 2.04 V FS
總誤差 1 1 %FS
響應(yīng)時間 2 2 ms
供電電壓 4.75 5.00 5.25 4.75 5.00 5.25 V
耗電電流 10 10 mA
過壓 >5X >5X %FS
工作溫度 -40 25 +125 -40 25 +125 ℃
補償溫度 0 25 +70 0 25 +70 ℃
存儲溫度 -55 25 +135 -55 25 +135 ℃
備注:
8、 只有SM5812系列才有絕壓類型
9、 壓力類型S(Pressure Type-S)有兩個接氣端口,用于高增益正差壓
10、 輸出與輸入電壓成正比
11、 滿量程是指零壓力與額定壓力之差,差壓可以使用±FS。絕壓和表壓零點輸出標準值為0.5V,滿量程輸出為4.5V,跨度有別于滿量程輸出和零點輸出。對于差壓壓力傳感器而言,負壓力的滿量程輸出標準值為0.5V,零點輸出標準值為2.5V;正壓力滿量程輸出標準值為4.5V ±2.0 V跨度輸出
12、 低于額定壓力(低于0)時飽和放大器輸出約為0.25V,高于額定滿量程壓力時飽和放大器輸出約為4.75V
13、 一個100nF的濾波電容必須放置于地與供電腳之間
14、 所測介質(zhì)必須是清潔、干燥并與材質(zhì)兼容,材質(zhì)包括高硼硅玻璃、硅、氧化鋁陶瓷、環(huán)氧、RTV電子硅膠、黃金、鋁和鎳
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